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MKY-ZG-III型高純氣體凈化器

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MKY-ZG-III型高純氣體凈化器

1m3/h~9m3/h高純氬氣凈化器設(shè)備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮氣、氫氣、氦氣等惰性氣體
1.  氬氣凈化流量1 m3/h~9 m3/h。
2.  工作壓力:0.2~0.6MPa。
(也可做高壓的0.2~15MPa。)。
3.  功率:2KW ~6KW.
4.  設(shè)備外形尺寸(寬×厚×高):450×450×1020~900×650×1800。
5.  凈化效能:

氣體

純度(%)

H2
(ppm)

O2
(ppm)

CO
(ppm)

CO2
(ppm)

CH4
(ppm)

露點
(H2O)

原氬

99.9

<100

<15

<5

<5

<5

-65℃

精氬

99.9999

≤0.2

≤0.3

≤0.2

≤0.2

≤0.2

-80℃

MKY-ZG-III型高純氣體凈化器

1m3/h~9m3/h高純氬氣凈化器設(shè)備參數(shù):
可以凈化的氣體有氬氣、氮氣、氫氣、氦氣等惰性氣體
1.  氬氣凈化流量1 m3/h~9 m3/h。
2.  工作壓力:0.2~0.6MPa。
(也可做高壓的0.2~15MPa。)。
3.  功率:2KW ~6KW.
4.  設(shè)備外形尺寸(寬×厚×高):450×450×1020~900×650×1800。
5.  凈化效能:

氣體

純度(%)

H2
(ppm)

O2
(ppm)

CO
(ppm)

CO2
(ppm)

CH4
(ppm)

露點 
(H2O)

原氬

99.9

<100

<15

<5

<5

<5

-65℃

精氬

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≤0.2

≤0.3

≤0.2

≤0.2

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